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APC之FDC生產(chǎn)失效監(jiān)控系統(tǒng)隆重推出
更新時(shí)間:2013-08-10 07:47:00 閱讀:1284
歷經(jīng)四年,感謝國際晶圓大廠及化學(xué)業(yè)與本公司共同合作開發(fā)APC之FDC(Fault Detection and Classification)生產(chǎn)失效監(jiān)控及故障分類模塊,透過Dynamic Boundary、Time-Series Model時(shí)序資料模型及Equipment / Process Model 設(shè)備/制程模型,有效掌握FDC 最基本的故障偵測(cè)法則,確認(rèn)制程參數(shù)都在設(shè)定的上下限范圍內(nèi);接著采用SPC、MSPC,針對(duì)分布合乎自然分布的參數(shù),利用統(tǒng)計(jì)手法進(jìn)行監(jiān)控制程質(zhì)量趨勢(shì),達(dá)到所謂Sheep dog管理。

